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发明名称 HOT EDGE RING WITH SLOPED UPPER SURFACE
摘要 <p>수명이 연장된 고온 에지 링은 경사진 상부면을 구비한 환상의 몸체를 포함한다. 이 고온 에지 링은 플라즈마 처리 챔버에 지지되는 반도체 기재의 외부 에지 하부에 놓이는 단차부를 포함하고, 상기 플라즈마는 기재를 처리하는데 사용된다. 상기 단차부는 기재의 외부 에지를 둘러싸는 수직면을 포함하고, 상기 경사진 상부면은 상기 수직면의 상부 주변부로부터 상방으로 또한 외부로 연장한다.</p>
申请公布号 KR200476554(Y1) 申请公布日期 2015.03.09
申请号 KR20100011184U 申请日期 2010.11.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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