发明名称 |
感光性樹脂組成物、感光性フィルム、永久レジスト及び永久レジストの製造方法 |
摘要 |
本発明は、(a)成分:酸変性エポキシ樹脂、(b)成分:エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)成分:光重合開始剤、(d)成分:エポキシ樹脂、及び(e)成分:無機フィラーを含有する感光性樹脂組成物であって、前記(a)成分が、酸変性ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂を含有し、更に所定の条件を満たす感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム、永久レジスト及び永久レジストの製造方法を提供する。 |
申请公布号 |
JPWO2013022068(A1) |
申请公布日期 |
2015.03.05 |
申请号 |
JP20130528068 |
申请日期 |
2012.08.09 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
名越 俊昌;田中 恵生 |
分类号 |
G03F7/027;C08G59/68;C08K3/36;C08L63/00;G03F7/004;H05K3/28 |
主分类号 |
G03F7/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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