Laterales Transfersystem

摘要

Die Erfindung betrifft ein modulares laterales Transfersystem für die Anwendung in einer horizontal ausgerichteten Verarbeitungskammer. Jedes Modul ist in der Lage, Prozessgas zu liefern und das Reaktionsprodukt durch die horizontal ausgerichtete Verarbeitungskammer zu befördern. Die Modulbauweise ermöglicht dem Betreiber, ein Modul des Systems auszubauen und auszutauschen, wodurch die Ausfallzeit der Kammer während der Instandhaltung minimalisiert wird.