发明名称 Piezoelektrische Vorrichtung
摘要 <p>Die piezoelektrische Vorrichtung besitzt eine erste Elektrodenschicht, eine auf der ersten Elektrodenschicht aufgebrachte piezoelektrische Schicht sowie eine auf der piezoelektrischen Schicht aufgebrachte zweite Elektrodenschicht. Von dem Paar Elektrodenschichten besteht mindestens eine Schicht aus einer Legierung, und der Hauptbestandteil der Legierung ist ein aus der aus Ti, Al, Mg und Zn bestehenden Gruppe ausgewähltes Metall.</p>
申请公布号 DE112013002780(T5) 申请公布日期 2015.02.26
申请号 DE20131102780T 申请日期 2013.05.14
申请人 TDK CORPORATION 发明人 NAKAJIMA, MAYUMI,;SAKUMA, HITOSHI,;KURACHI, KATSUYUKI,;AIDA, YASUHIRO,;MAEJIMA, KAZUHIKO,
分类号 H01L41/047;H01L41/08 主分类号 H01L41/047
代理机构 代理人
主权项
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