背照式固态图像感测元件及其制造方法和成像装置

摘要

一种背照式固态图像感测元件（22a），其中光被滤光器（52）散射，与入射到每个像素上的光的颜色无关地将每个像素的表面侧（60-1，60R-1）的表面积形成为相同，而散射的红光所入射的像素的反面侧（60R-4）的表面积被形成为大于绿色光或蓝色光所入射的像素的反面侧（60-R）的表面积。

主权项

一种背照式固态图像感测元件，包括：半导体衬底，其中多个光电二极管布置成二维阵列，并且按照从光进入的后表面侧至前表面侧的方式形成多个光电二极管中的每一个；彩色滤光器，其层叠在半导体衬底的后表面侧上以使光分散；微透镜，其针对各个光电二极管层叠在彩色滤光器的后表面侧以便聚集入射光，从而使得入射光进入相应光电二极管的后表面侧；以及信号读取单元，其形成在半导体衬底的前表面侧上，以便读取由光电二极管根据光分量的接收量而检测到的所获取的图像信号，其中，与由彩色滤光器分散并进入光电二极管的光分量的颜色无关地将各个光电二极管的前表面侧的面积都形成为彼此相等，而分散的红光分量所进入的光电二极管的后表面侧的面积被形成为大于绿光分量或蓝光分量所进入的光电二极管的后表面侧的面积。