玻璃硬盘基板用研磨液组合物

摘要

本发明提供一种玻璃硬盘基板用研磨液组合物，其能够同时实现高研磨速度和高清洁性、并且能够在循环研磨中长时间维持高研磨速度。在一个实施方式中，本发明涉及一种玻璃硬盘基板用研磨液组合物，其为含有胺化合物、酸、二氧化硅粒子和水的玻璃硬盘基板用研磨液组合物，其中，所述胺化合物选自由氨基醇、以及哌嗪及其衍生物组成的组，该胺化合物的分子内含有2个或3个氮原子，其中至少1个为伯胺或仲胺。

主权项

一种玻璃硬盘基板用研磨液组合物，其为含有胺化合物、酸、二氧化硅粒子和水的玻璃硬盘基板用研磨液组合物，其中，所述胺化合物选自由2‑[(2‑氨乙基)氨基]乙醇、2，2’‑(亚乙基双亚氨基)双乙醇、N‑(2‑羟乙基)‑N′‑(2‑氨乙基)乙二胺、2，2’‑(2‑氨乙基亚氨基)双乙醇、1，3‑二氨基‑2‑丙醇、哌嗪、1‑甲基哌嗪、3‑(1‑哌嗪基)‑1‑丙胺、1‑(2‑氨乙基)哌嗪、4‑甲基哌嗪‑1‑胺、1‑哌嗪甲胺、4‑乙基‑1‑哌嗪胺、1‑甲基‑4‑(2‑氨乙基)哌嗪及1‑(2‑羟乙基)哌嗪组成的组，所述酸为选自由多元羧酸、一元羧酸、含磷有机酸及含磷无机酸组成的组中的酸，所述研磨液组合物中，所述胺化合物和所述酸的重量比即胺化合物的重量/酸的重量为0.001～0.5。