| 摘要 |
1. Фазово-интерференционный модуль, содержащий микроскоп для формирования увеличенного изображения микрообъекта в задней фокальной плоскости этого микроскопа, 4f оптическую систему из двух фурье-объективов, передняя фокальная плоскость которой совпадает с задней фокальной плоскостью микроскопа, а в задней фокальной плоскости 4f оптической системы располагается регистратор выходного изображения, внутри 4f оптической системы до общей фокальной плоскости располагается светоделитель, а в общей фокальной плоскости 4f оптической системы размещен фазовый пространственный фильтр Цернике, работающий на отражение, отличающийся тем, что фазовый пространственный фильтр Цернике выполнен в виде плоского зеркала, состоящего из неподвижной плоской зеркальной детали с узким отверстием в центре и подвижной плоской зеркальной детали, установленной в этом отверстии с возможностью перемещения в направлении нормали к поверхности неподвижной плоской зеркальной детали, причем центр подвижной плоской зеркальной детали совпадает с оптической осью 4f оптической системы.2. Фазово-интерференционный модуль по п.1, отличающийся тем, что подвижная плоская зеркальная деталь закреплена на пьезоэлементе. |
