| 发明名称 | 一种化学机械抛光液及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种化学机械抛光液及其制备方法，按以下原料重量份数配比制成：磷酸12-35份、四硼酸钠8-25份、硅酸钠6-22份、碳酸氢钠12-23份、乙酸钠5-16份、柠檬酸钠8-21份、去离子水26-45份、氧化剂1-10份、缓蚀剂2-11份、增稠剂1-8份、表面活性剂2-12份、pH调节剂1-9份。经搅拌、混合即可获得抛光液。 | ||
| 申请公布号 | CN104293207A | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201410500335.X | 申请日期 | 2014.09.25 |
| 申请人 | 无锡康柏斯机械科技有限公司 | 发明人 | 陈凌;王琰;任琪;程晓 |
| 分类号 | C09G1/18(2006.01)I | 主分类号 | C09G1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 李纪昌 |
| 主权项 | 一种化学机械抛光液，其特征在于，按以下原料重量份数配比制成：磷酸12‑35份、四硼酸钠8‑25份、硅酸钠6‑22份、碳酸氢钠12‑23份、乙酸钠5‑16份、柠檬酸钠8‑21份、去离子水26‑45份、氧化剂1‑10份、缓蚀剂2‑11份、增稠剂1‑8份、表面活性剂2‑12份、pH调节剂1‑9份。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区惠成路77号 | ||