真空处理装置

摘要

真空处理装置(1)，系具备使具备冷却机(13)之基板保持器(10)在真空容器(3)内作倾斜之倾斜部、及设于倾斜部并在与冷却机(13)之间形成了将冷媒气体作供应或排出之冷媒通路的旋转接头(29)，旋转接头(29)，系具备固定于真空容器(3)之固定部(30)、设置为可相对于固定部(30)作转动并固定于基板保持器(10)之转动部(31)、及作为在固定部(30)与转动部(31)之间隙中将从冷媒通路所泄漏之冷媒气体导引至旋转接头(29)的外部之导气路径的润滑油供应用通路(60a)。