一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置

摘要

本发明提供一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置，该装置安装在直拉硅单晶炉的热屏蔽组件上，包括测量杆、中间有孔的圆垫块，测量杆的端部穿过圆垫块上的孔垂直朝向硅熔体的液面。在采用安装有本发明装置的直拉法制造的砖单晶炉系统制造砖单晶棒时，将测量杆测定的热屏蔽组件的下端面与砖熔体液面的距离(H值)输入控制系统中，从而实现单晶体在等径生长期间的H值的精确控制。本发明可以用于制造集成电路和其它电子元件半导体级砖单晶体。采用本发明可制备具有一个中心轴、一个籽晶端锥体和一个尾端锥体的硅晶棒，在籽晶端锥体和尾端锥体之间为近乎恒定直径的圆柱体，可实现对硅晶棒质量的精准控制。

主权项

一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置，其特征在于，该装置安装在直拉硅单晶炉的热屏蔽组件上，包括测量杆、中间有孔的圆垫块，测量杆的端部穿过圆垫块上的孔垂直朝向硅熔体的液面。