| 发明名称 | 蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备及方法，该喷淋处理设备包括支撑装置和喷淋装置，支撑装置用于支撑待处理的基材，且支撑装置的支撑平面相对水平面倾斜设置，以使得基材与水平面成预定角度倾斜；喷淋装置用于向倾斜设置的基材喷淋处理液。通过上述方式，本发明能够提升处理液处理基材的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN104282598A | 申请公布日期 | 2015.01.14 |
| 申请号 | CN201410491350.2 | 申请日期 | 2014.09.23 |
| 申请人 | 安徽省大富光电科技有限公司 | 发明人 | 孙尚传 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人 | 何青瓦 |
| 主权项 | 一种喷淋处理设备，其特征在于，所述喷淋处理设备包括：支撑装置，用于支撑待处理的基材，且所述支撑装置的支撑平面相对水平面倾斜设置，以使得所述基材与水平面成预定角度倾斜；喷淋装置，用于向倾斜设置的所述基材喷淋处理液。 | ||
| 地址 | 233000 安徽省蚌埠市高新区东海大道6525号 | ||