发明名称 蓝宝石单晶炉
摘要 本发明蓝宝石单晶炉,包括:机架、腔体、旋转机构、运动机构、电源、控制柜、及水冷系统;其中机架包括:底架,在底架上设有安装孔,腔体设置在安装孔内;底板,底板设置在底架的下方,底架通过锁紧螺钉与底板连接;调节螺钉及调节螺母,调节螺钉及调节螺母设置在底板上;立柱,立柱设置在底架的一侧,旋转机构设置在立柱的上端面;运动机构与旋转机构连接;横梁,横梁设置在底架上,控制柜通过螺钉固定在横梁上。本发明蓝宝石单晶炉将设备的主要组成部分完成装配后,整体包装、运输到使用场所,减少在安装场地的工作量,缩短安装、调整的时间,快速进入工作状态,提高效率。
申请公布号 CN104278325A 申请公布日期 2015.01.14
申请号 CN201410490325.2 申请日期 2014.09.23
申请人 上海朗兆机电设备有限公司 发明人 宋奇
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/20(2006.01)I
代理机构 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 代理人 沈履君
主权项 蓝宝石单晶炉,其特征在于,包括机架、腔体、旋转机构、运动机构、电源、控制柜、及水冷系统;其中所述机架包括:底架,在所述底架上设有安装孔,所述腔体设置在所述安装孔内;底板,所述底板设置在所述底架的下方,所述底架通过锁紧螺钉与所述底板连接;调节螺钉及调节螺母,所述调节螺钉及所述调节螺母设置在所述底板上;立柱,所述立柱设置在所述底架的一侧,所述旋转机构设置在所述立柱的上端面;所述运动机构与所述旋转机构连接;横梁,所述横梁设置在所述底架上,所述控制柜通过螺钉固定在所述横梁上。
地址 201415 上海市奉贤区航南公路7570号116室