| 摘要 |
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Analyse der Zusammensetzung eines Gases oder eines Gasstromes, enthaltend AlCl3, in einem chemischen Reaktor, umfassend Abtrennen von AlCl3 aus dem Gas und anschließende Untersuchung des Gases mittels Gaschromatographie oder Spektroskopie. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung von Chlorsilanen in einem Wirbelschichtreaktor mit einer Reaktorhöhe H0, bei dem zugeführtes HCl mit Silicium reagiert, dadurch gekennzeichnet, dass ein Temperaturprofil im Wirbelschichtreaktor größer ist als S1(H/H0) = (a1 – b1)·(1/(1 + exp(–c1((H/H0) – d1)))) + b1 und kleiner ist als S2(H/H0) = (a2 – b2)·(1/(1 + exp(–c2((H/H0) – d2)))) + b2, wobei a1 = 100°C, a2 = 300°C, b1 = 300°C, b2 = 400°C, c1 = 50, c2 = 20, d1 = 0,2, d2 = 0,8 ist. |
