| 发明名称 |
微机电系统装置及制程 |
| 摘要 |
一种MEMS装置，包含薄膜层以及于该薄膜层上形成之背板层。该薄膜层包含外部、相对于该外部而突起之内部以及用于连接该内部与该外部之侧壁。该侧壁系非垂直于该外部。 |
| 申请公布号 |
TWI466814 |
申请公布日期 |
2015.01.01 |
| 申请号 |
TW097135574 |
申请日期 |
2008.09.17 |
| 申请人 |
欧胜微电子 英国 |
发明人 |
拉敏 理查 伊安;珍金斯 柯林 罗伯特;崔诺 安东尼 波纳 |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02;H01L21/306 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈志明 台北市内湖区瑞光路669号 |
| 主权项 |
一种微机电系统(MEMS)装置，包含：一薄膜层，包含一内部，一外部以及一侧壁用以连接该内部与及外部；一背板层，系形成于该薄膜层上，该背板层包含一内部以及一外部，以及连接该内部与该外部之一侧壁；其中该背板层之该内部系间隔于该薄膜层，并且其中该薄膜层系连接至该背板层之该侧壁之至少一部份。 |
| 地址 |
英国 |
