静电吸盘

摘要

[课题];提供一种将吸附电极所使用的电力在基板处理中一面发电一面可供应的电力自补型的静电吸盘。;[解决手段];一种静电吸盘，属于在发生光能进行处理基板的基板处理装置，将基板予以吸附保持的静电吸盘，其特征为：具有：备有吸附电极的电极片，及在上面侧积层电极片的金属基盘，及可得到供应于吸附电极的电力的内部电源，及将在内部电源所得到的电力的电压予以昇压的昇压电路，内部电源为太阳电池，在基板的处理中将光能转换成电力，而在电极片吸附保持基板。

主权项

一种静电吸盘，属于电力自补型，在发生光能进行处理基板的基板处理装置，将基板予以吸附保持的静电吸盘，其特征为：具有：备有吸附电极的电极片，及在上面侧积层电极片的金属基盘，及可得到供应于吸附电极的电力的内部电源，及将在内部电源所得到的电力的电压予以昇压的昇压电路，内部电源为太阳能电池，系接收前述光能，在基板的处理中将光能转换成电力，而在电极片吸附保持基板。