| 发明名称 |
一种外延片及其加工方法 |
| 摘要 |
本发明提供了一种外延片及其加工方法，其中，所述加工方法包括以下步骤：在外延层注入离子。采用上述方案，本发明通过在外延层注入离子，能够在外延片加工完成后调整其特性，扩大了其应用范围；还可以作为外延片加工整体流程中的一个步骤，制造相异的外延片，应用广泛，具有很高的市场应用价值。 |
| 申请公布号 |
CN104217929A |
申请公布日期 |
2014.12.17 |
| 申请号 |
CN201410532786.1 |
申请日期 |
2014.10.11 |
| 申请人 |
王金 |
发明人 |
王金 |
| 分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种外延片的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：在外延层注入离子。 |
| 地址 |
518000 广东省深圳市福田区福华一路6号免税商务大厦1403 |
