以统计模型爲基础的计量学;STATISTICAL MODEL-BASED METROLOGY

摘要

本发明提出用于基于经量测之训练资料来产生一量测模型之方法及系统。该经训练之量测模型系用于直接自从其他晶圆收集之经量测资料计算程序参数值、结构参数值或两者。该等量测模型直接接收量测资料作为输入，且提供程序参数值、结构参数值或两者作为输出。该量测模型实现程序参数之直接量测。收集来自多个目标之量测资料以用于模型建置、训练及量测。在一些实例中，使用与多个目标相关联之量测资料消除或显着降低在量测结果中之下层的效应，且实现更精确量测。可自由多个不同量测技术之一组合所执行的量测导出经收集用于模型建置、训练及量测的量测资料。