发明名称 探针单元、基板检查装置以及探针单元组合方法
摘要 [课题]能够抑制制造成本同时能够容易地改变探针的有效压弯长[解决手段]包括:复数探针11a、支持探针11a的支持部、以及配置该支持部的电极板。支持部构成为包括:支持插入通过支持孔51、52的探针11a的前端部之支持板41、42;以及支持插入通过支持孔53、54的探针11a的基端部侧的支持板43、44。该支持部构成为可以在第1姿势及第2姿势之间移行,该第1姿势系各支持板41~44积层为使得支持孔51~54的各开口面沿着对支持板41~44垂直的垂直方向并排,该第2姿势为该支持板43和44抵接的状态下支持板42和支持板43隔开。系构成为在第2姿势中,将支持板42的内面和支持板44的外面之间的距离D1维持一定,同时可以变更支持板42和支持板43之间的距离D2。
申请公布号 TW201447307 申请公布日期 2014.12.16
申请号 TW103102592 申请日期 2014.01.24
申请人 日置电机股份有限公司 发明人 小林昌史
分类号 G01R1/06(2006.01);G01R1/073(2006.01);G01R31/28(2006.01) 主分类号 G01R1/06(2006.01)
代理机构 代理人 <name>洪澄文</name>
主权项
地址 日本