蒸镀坩埚装置

摘要

本实用新型的蒸镀坩埚装置，其中，包括第一坩埚以及嵌套于第一坩埚内部的多个第二坩埚，第一坩埚用于对多个第二坩埚加热。本实用新型的蒸镀坩埚装置为两级加热方式，通过第一坩埚对多个第二坩埚加热，这样可以利用多个第二坩埚进行同时蒸镀，即实现了高速蒸镀，同时一方面减少了生产成本，一方面保证了产品的均一性。

主权项

一种蒸镀坩埚装置，其特征在于，包括第一坩埚以及嵌套于所述第一坩埚内部的多个第二坩埚，所述第一坩埚用于对多个所述第二坩埚加热，所述第一坩埚的第一表面设置有多个凹槽，多个所述凹槽与多个第二坩埚分别一一对应配合，所述第一坩埚通过所述凹槽对所述第二坩埚加热，所述第一坩埚的与第一表面相对的第二表面设置有用于容纳加热棒的容纳腔。