发明名称 |
生长在Zr衬底上的InGaN/GaN多量子阱 |
摘要 |
本实用新型公开了生长在Zr衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括生长在Zr衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN多量子阱;所述GaN缓冲层为在500~700℃生长的GaN缓冲层;所述非掺杂GaN层为在600~800℃生长的非掺杂GaN层;所述InGaN/GaN多量子阱为在700~800℃生长的InGaN/GaN量子阱。本实用新型的InGaN/GaN多量子阱缺陷密度低、结晶质量好、光电性能好,生长工艺简单,制备成本低廉。 |
申请公布号 |
CN203983322U |
申请公布日期 |
2014.12.03 |
申请号 |
CN201420397434.5 |
申请日期 |
2014.07.17 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
李国强;王文樑;杨为家;刘作莲;林云昊;周仕忠;钱慧荣 |
分类号 |
H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/06(2010.01)I |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人 |
陈文姬 |
主权项 |
生长在Zr衬底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,包括生长在Zr衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN多量子阱;所述GaN缓冲层为在500~700℃生长的GaN缓冲层;所述非掺杂GaN层为在600~800℃生长的非掺杂GaN层;所述InGaN/GaN多量子阱为在700~800℃生长的InGaN/GaN量子阱。 |
地址 |
510640 广东省广州市天河区五山路381号 |