发明名称 生长在Zr衬底上的InGaN/GaN多量子阱
摘要 本实用新型公开了生长在Zr衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括生长在Zr衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN多量子阱;所述GaN缓冲层为在500~700℃生长的GaN缓冲层;所述非掺杂GaN层为在600~800℃生长的非掺杂GaN层;所述InGaN/GaN多量子阱为在700~800℃生长的InGaN/GaN量子阱。本实用新型的InGaN/GaN多量子阱缺陷密度低、结晶质量好、光电性能好,生长工艺简单,制备成本低廉。
申请公布号 CN203983322U 申请公布日期 2014.12.03
申请号 CN201420397434.5 申请日期 2014.07.17
申请人 华南理工大学 发明人 李国强;王文樑;杨为家;刘作莲;林云昊;周仕忠;钱慧荣
分类号 H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I 主分类号 H01L33/06(2010.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 陈文姬
主权项 生长在Zr衬底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,包括生长在Zr衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN多量子阱;所述GaN缓冲层为在500~700℃生长的GaN缓冲层;所述非掺杂GaN层为在600~800℃生长的非掺杂GaN层;所述InGaN/GaN多量子阱为在700~800℃生长的InGaN/GaN量子阱。
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
您可能感兴趣的专利