沈积基板传送单元、包含该沈积基板传送单元之有机层沈积设备、以及有机发光显示装置;DEPOSITION SUBSTRATE TRANSFERRING UNIT, ORGANIC LAYER DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND ORGANIC LIGHT-EMITTING DISPLAY DEVICE

摘要

本发明提供一种可将一沈积材料沈积于一基板上之一确切位置处之沈积基板传送单元，该沈积基板传送单元包含：一静电卡盘，具有一第一表面，该第一表面附着有一基板；以及一载具，具有一表面，该表面与该静电卡盘之一第二表面结合以使该静电卡盘沿一第一方向移动。该载具包含设置于该载具内之空间中的复数个容纳部、以及分别形成于该等容纳部之表面上的复数个辅助肋。