沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明公开了对于基本上相同的有机发光显示装置的批量生产可以显著降低维护和维修时间的沉积装置和方法。沉积装置包括：传送单元，包括配置为在第一方向传送基底可被可拆卸地附着在其上的移动单元的第一传送单元和被配置为在与第一方向相反的返回方向传送各基底已经从其分离的空移动单元的第二传送单元；装载单元，被配置为将基底和各移动单元进行配合；沉积单元，包括一个或多个沉积组件，沉积组件和基底保持预定距离，并被配置为当第一传送单元以扫描方法传送基底经过一个或多个沉积组件时在基底上沉积材料；腔室；卸载单元，被配置为在基底上的沉积完成之后将基底从移动单元分离；和可容纳备份移动单元的第一移动单元储料器。

主权项

一种在所提供的一批待加工工件上沉积一种或多种沉积材料的沉积装置，该装置包括：沉积单元，在所述沉积单元内发生所述一种或多种沉积材料在所提供的一批待加工工件上的沉积；传送单元，包括：第一传送单元，被配置为传送各工件移动单元通过所述沉积单元同时在所述沉积单元中发生沉积，一个或多个所提供的工件各自被可拆卸地附着到各工件移动单元；和第二传送单元，被配置为在返回方向传送所述移动单元中的未附着工件的各空移动单元经过返回路径，从而所述空移动单元能够被重新用于移动所述待加工工件中的其它待加工工件；装载单元，被配置为将所述待加工工件中的各待加工工件与所述移动单元中对应的移动单元进行配合；卸载单元，被配置为将所述工件中的加工过的工件在所述一种或多种沉积材料在这些工件上的沉积完成之后从它们各自的移动单元分离；和第一移动单元储料器，一个或多个空的且将被用作备份的移动单元能够被容纳在所述第一移动单元储料器中，所述第一移动单元储料器被可操作地联接，以将其备份移动单元中的一个插入到布置为穿过所述沉积单元的一系列移动单元中；其中所述沉积单元包括：一个或多个沉积组件，被配置为每个沉积组件分别与可拆卸地附着到其各自的工件移动单元的所述工件中的经过的工件以对应的预定间隔距离隔开，并以非接触方式朝所述可拆卸地附着的工件喷射所述一种或多种沉积材料中的对应的一种；和腔室。