一种分体式VGF法单晶生长工艺用坩埚托

摘要

本实用新型提出一种分体式VGF法单晶生长工艺用坩埚托。氯化钇稳定氧化锆材质的坩埚托主体（1）被沿轴向加工成了均匀的三瓣，当三瓣儿组合成一个圆柱体时，每两瓣之间会有极微小的间隙，坩埚托主体（1）的下部加工有外锥面，通过外锥面安放在坩埚托主体座（2）的内锥面上，这种设计保证了坩埚的对中性，坩埚托主体座（2）的底部加工有外止口，其外止口插入石英管（4）的内孔中定位，石英管（4）的内部充满保温棉（5），石英管的外面套有氧化铝管（3），氧化铝管（3）的上端面辅助支撑坩埚托主体（1）的下端的环状凸台，多层保温结构设计，增加径向保温性，上述设计减小了坩埚托的热应力变形，提高了坩埚托的使用寿命，降低了生产成本。

主权项

一种分体式VGF法单晶生长工艺用坩埚托，包括坩埚托主体（1），其特征在于：坩埚托主体（1）沿轴向上分成均匀的三瓣，三瓣儿组合成一个圆柱体，相邻两瓣之间有间隙，坩埚托主体（1）上部内壁的形状与坩埚的形状相吻合，坩埚托主体（1）的下部加工有外锥面，通过外锥面安放在坩埚托主体座（2）的内锥面上，坩埚托主体座（2）的底部加工有外止口，其外止口插入石英管（4）的内孔中定位，石英管（4）的内部充满保温棉（5），石英管（4）外套有氧化铝管（3），氧化铝管（3）的上端面与坩埚托主体（1）底端面的外沿相触。