高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统

摘要

一种高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，测量系统包括细绳、三维气浮组件和三个方向的光电位移传感装置，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，三个方向的光电位移传感装置分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上，用以测量x向、y向和z向位移；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，y向气浮套与z向气浮套固定连接，z向气浮轴可滑动地安装在z向气浮套上；细绳的上端与被测件连接，细绳的下端与三维气浮组件的z向气浮轴连接。本发明提供一种测量精度高的高低温箱内被测件变形量的高精度测量系统。

主权项

一种高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，其特征在于：所述测量系统包括细绳、三维气浮组件和三个方向的光电位移传感装置，所述三维气浮组件包括固定板、x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，所述三个方向的光电位移传感装置分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上，用以测量x向、y向和z向位移；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，所述x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，所述y向气浮套与z向气浮套固定连接，所述z向气浮轴可滑动地安装在所述z向气浮套上；所述细绳的上端与被测件连接，所述细绳的下端与所述三维气浮组件的z向气浮轴连接；x向光电位移传感装置由光栅尺和读数头组成；y向光电位移传感装置包括y向光电转化发射器和y向接收器，z向光电位移传感装置包括一级z向光电转化发射器、一级z向光电转化接收器、二级z向光电转化发射器和二级z向光电转化接收器，其中，所述y向光电转化发射器、一级z向光电转化发射器和二级z向光电转化发射器由光栅尺和读数头组成，采用增量式光电编码器，所述y向接收器、一级z向光电转化接收器和二级z向光电转化接收器由两组光电发射和接收管构成；所述x向气浮套与x向气浮套连接板固定连接，所述x向气浮套连接板与y向安装板固定连接，所述y向气浮轴安装在所述y向安装板上，所述y向气浮套与y向气浮套连接板固定连接，所述y向气浮套连接板与z向固定挡板连接，所述z向气浮套通过z向气浮套固定板安装在所述z向固定挡板上，所述z向固定挡板上安装z向气浮轴连接板，所述z向气浮轴安装在所述z向气浮轴连接板上，所述z向气浮轴的上端安装与细绳连接的连接头；所述一级z向光电转化发射器安装在z向固定挡板上，一级z向光电转化接收器和二级z向光电转化发射器均安装y向安装板上，二级z向光电转化接收器安装在固定板上；y向光电转化发射器安装在y向安装板上，y向接收器安装在固定板上；x向光电位移传感装置安装在固定板上；x、y、z三个方向分别设有两根气浮轴和两个气浮套，同一方向的气浮轴固定在同一块固定板上，同一方向的气浮套固定在同一块固定板上。