一种硅片多线切割方法

摘要

本发明提供了一种硅片多线切割方法，其中，切割钢线通过高速运动，使附着在切割钢线上的切割刃料以平稳的切割力场作用于待切割的硅锭或硅块的表面，硅锭或硅块从上至下运动对切割钢线产生压力，使切割刃料被压入硅锭或硅块的表面，对硅锭或硅块进行切割，在切割过程中，通过使硅锭或硅块从上至下运动的同时产生周期性的上下方向的相对振动，使附着在切割钢线上的切割刃料和硅锭或硅块发生间断性地接触，使切割钢线上的切割刃料和硅锭或硅块之间的空间和作用力发生周期性的变化，对硅锭或硅块进行周期性的振动切割。该方法能使切割产生的切割屑及时、有效地从切缝中排出，并增加切割刃料在切缝中的渗透作用。

主权项

一种硅片多线切割方法，其中，切割钢线通过高速运动，使附着在所述切割钢线上的切割刃料以平稳的切割力场作用于待切割的硅锭或硅块的表面，所述硅锭或硅块从上至下运动对所述切割钢线产生压力，使所述切割刃料被压入所述硅锭或硅块的表面，对所述硅锭或硅块进行切割，其特征在于，在所述切割过程中，通过使所述硅锭或硅块从上至下运动的同时产生周期性的上下方向的相对振动，使附着在所述切割钢线上的切割刃料和所述硅锭或硅块发生间断性地接触，使所述切割钢线上的切割刃料和所述硅锭或硅块之间的空间和作用力发生周期性的变化，对所述硅锭或硅块进行周期性的振动切割。