发光二极体晶片测试器

摘要

本发明提供一种LED晶片测试器。该晶片测试器可以维持LED晶片与探测卡之探测针间之固定接触距离，如此测试器可以防止LED晶片与探测针两者之毁坏，并且可以量测LED晶片之精确特性。

主权项

一种LED晶片测试器，包含：一探测卡，其具有与至少一待量测LED晶片电气接触之至少一对探测针；一晶圆工作台，其上装载具有LED晶片之晶圆，该晶圆工作台将该晶圆移动到探测针接触位置；一工作台驱动器，用来驱动该晶圆工作台；一量测装置，包含光学量测装置及电流量测装置，其分别用来量测与该探测针接触之该LED晶片之光学特性与电流特性；一侦测器装置，包含座标侦测器及水平侦测器，该座标侦测器用来侦测装载于该晶圆上之该个别LED晶片之座标，该水平侦测器用来侦测具有藉由该座标侦测器所侦测到之该座标之该个别LED晶片之高度值；至少一晶片接触装置，用来使该LED晶片中已移动到该接触位置之LED晶片与该探测针接触；以及一控制装置，利用传送自该侦测器装置之该个别LED晶片之座标值来控制该工作台驱动器之运作，并将该待量测LED晶片移动到该接触位置；以及利用具有传送自该侦测器装置之该座标之该个别LED晶片的该高度值和该探测针与该LED晶片之间的预设参考接触距离值两者来控制该晶片接触装置之垂直移动运作；其中，该座标侦测器将所侦测之座标传送到该控制装置，且该水平侦测器将该高度值传送到该控制装置。