| 发明名称 |
气体添加研磨液的供应系统及其方法;SUPPLYING SYSTEM OF ADDING GAS INTO SLURRY AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
本发明提供一种气体添加研磨液的供应系统(200)及其方法，包括研磨液容器(202)、气体混合容器(204)、气体容器(206)、调节装置(208)、第一流量控制装置(210)以及第二流量控制装置(212)。本发明藉由调节装置(208)将气体(207)溶入气体混合容器(204)的研磨液(203)中，以形成气体添加研磨液(203a)，用以提高基板(106)表面材质的移除率，并且改善基板(106)表面的加工品质。 |
| 申请公布号 |
TW201440953 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW102113466 |
申请日期 |
2013.04.16 |
| 申请人 |
国立台湾科技大学 |
发明人 |
陈炤彰;周炳伸;杜维刚 |
| 分类号 |
B24B37/04(2012.01);B24C3/08(2006.01) |
主分类号 |
B24B37/04(2012.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>刘育志</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
台北市大安区基隆路4段43号 |
