玻璃基板的缺角检测装置、具有该装置的乾蚀刻机台及缺角检测方法

摘要

本发明提供一种玻璃基板的缺角检测装置、具有该装置的乾蚀刻机台及缺角检测方法。缺角检测装置用于检测传送至进样室的玻璃基板是否存在缺角,该缺角检测装置包括两组缺角感测器和逻辑控制器,该两组缺角感测器分别位于该进样室的两侧,每一组缺角感测器均包括信号接收部和信号发送部,该两组缺角感测器对应于该玻璃基板的两边产生第一信号和第二信号,该逻辑控制器能够比对该第一信号和第二信号是否相同,若信号不同,则表示该玻璃基板存在缺角。