摘要 |
Sensor für dynamische Größen, der umfasst: einen Basisabschnitt (11); einen Lastabschnitt (20, 21), der vom Basisabschnitt (11) unterstützt wird, so dass er von einer daran angelegten dynamischen Größe in einer Bewegungsrichtung (Y) verschoben werden kann; eine kammförmige bewegliche Elektrode (24), die einstückig mit dem Lastabschnitt (20, 21) ausgebildet ist und vom Lastabschnitt (20, 21) vorsteht; eine kammförmige feste Elektrode (31, 32), die vom Basisabschnitt (11) vorsteht; wobei die kammförmige feste Elektrode (31, 32) in einer zwischen der angrenzenden beweglichen kammförmigen Elektrode (24) definierten Lücke angeordnet ist; wobei ein erster Abstand zwischen der festen Elektrode (31, 32) und der beweglichen Elektrode (24) auf einer ersten Seitenfläche der Elektroden einen Erfassungsabstand (40) definiert und auf der Seitenfläche der beweglichen Elektrode (24), die dem Erfassungsabstand (40) gegenüberliegt, ein zweiter Abstand zwischen der beweglichen Elektrode (24) und der festen Elektrode (31, 32) einen Nichterfassungsabstand definiert, wobei der Erfassungsabstand (40) zwischen der beweglichen Elektrode (24) und der festen Elektrode (31, 32) enger ist als der Nichterfassungsabstand; durch die Verschiebung des Lastabschnitts (20, 21) in Bewegungsrichtung (Y) des Lastabschnitts (20, 21) eine Kapazität zwischen der beweglichen Elektrode (24) und der festen Elektrode (31, 32) verändert wird, und hierdurch die dynamische Größe erfasst werden kann, wobei die bewegliche Elektrode (24) und die feste Elektrode (31, 32) einen Wurzelabschnitt und einen Endabschnitt aufweisen, und mindestens entweder die bewegliche Elektrode (24) oder die feste Elektrode (31, 32) eine konische, ebene Form aufweisen, deren Breite sich vom Wurzelabschnitt hin zum Endabschnitt der beweglichen Elektrode (24) oder der festen Elektrode (31, 32) verringert, und ... |