| 摘要 |
Высокочастотный электронно-ионный микроскоп состоит из вакуумной камеры, находящихся в ней источника заряженных частиц, исследуемого объекта, флуоресцирующего экрана, апертурной диафрагмы, расположенной вне вакуумной камеры системы контуров создающей магнитное поле и системы юстировки, отличающийся тем, что вакуумная камера выполнена в виде участка трубы на концах которого находятся источник заряженных частиц и исследуемый объект, контуры с током расположены параллельно плоскости вакуумной камеры, соединены с генератором высокочастотного переменного тока и создают аксиально-симметричное фокусирующее магнитное поле с частотой 10-10герц, которое индуцирует ускоряющее электрическое поле с разностью потенциалов между источником заряженных частиц, исследуемым объектом, апертурной диафрагмой и флоресцирующим экраном, источник заряженных частиц состоит из соосных цилиндров, кромки которых имеют радиус закругления 10м, источник заряженных частиц, исследуемый объект, апертурная диафрагма и флоресцирующий экран расположены по траектории движения заряженных частиц под аксиальными углами друг к другу. |
