荧光X射线分析装置

摘要

本发明提供荧光X射线分析装置，其能够通过比较简单的结构和控制来抑制输出强度的变动。该荧光X射线分析装置（1）具有：X射线源（2），其对试样S照射原级X射线；聚光元件（3），其会聚从X射线源照射的原级X射线，减小对于试样的照射面积；检测器（4），其对从被照射原级X射线的试样产生的荧光X射线进行检测；筐体（5），其收纳X射线源和聚光元件；温度传感器（6），其设置在X射线源和X射线源周围的至少一方；外气用扇（7），其在筐体上至少设置有一个，能够更换内部与外部的空气；以及控制部（C），其根据由温度传感器检测出的温度信息对外气用扇进行驱动，将X射线源周围的气氛温度调整为恒定的温度。

主权项

一种荧光X射线分析装置，其具有：X射线源，其对试样照射原级X射线；聚光元件，其会聚从所述X射线源照射的所述原级X射线，减小对于所述试样的照射面积；检测器，其对从被照射所述原级X射线的所述试样产生的荧光X射线进行检测；以及筐体，其至少收纳所述X射线源和所述聚光元件，所述荧光X射线分析装置的特征在于，具有：温度传感器，其设置在所述X射线源和所述X射线源周围的至少一方；外气用扇，其在所述筐体上至少设置有一个，更换内部与外部的空气；以及控制部，其根据由所述温度传感器检测出的温度信息对所述外气用扇进行驱动，将所述X射线源周围的气氛温度调整为恒定的温度。