用于制造薄层的装置和方法

摘要

一种用于在制造太阳能电池时在衬底上制造薄层的装置，其中，采用APCVD方法在高于250℃的温度情况下敷设薄层，在该装置中，衬底在连续运行中在水平的输送带上被输送，并通过APCVD涂层法被涂层。在此，输送带具有输送轮，所述输送轮由耐热的非金属的材料优选陶瓷。在输送带的背离涂层装置的一侧设置有加热机构和/或喷淋气体供应机构。

主权项

一种用于在衬底上制造薄层特别是用于制造太阳能电池的装置，带有：‑APCVD涂层装置(13)，用于采用APCVD方法在高于250℃的温度情况下敷设薄层；‑带有输送轮(28)的水平的输送带(27)，用于在连续运行中输送衬底，所述输送轮由耐热的非金属的材料构成；和‑设置在输送带的背离APCVD涂层装置的一侧的加热机构(14)和/或喷淋气体供应机构(34)。