| 发明名称 |
用于有效率的热循环的模组化基材加热器;MODULAR SUBSTRATE HEATER FOR EFFICIENT THERMAL CYCLING |
| 摘要 |
本文所述的实施例系关于一种设备与方法,用于一基材加热器,该基材加热器用于一基材处理腔室。在一实施例中,用于一基材处理腔室的一种基材支座包括:一主体,该主体具有一顶部板材,该顶部板材具有一基材接收表面;以及一可移动的加热器,该加热器设置于该主体中,该加热器可相对于该顶部板材移动。 |
| 申请公布号 |
TW201436093 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
| 申请号 |
TW103104277 |
申请日期 |
2014.02.10 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
席拉温甘嘉哈;巴杜法曼达卡立艾帕艾查帕 |
| 分类号 |
H01L21/683(2006.01);H01L21/324(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
APPLIED MATERIALS, INC. 美国 |
