试料保持具及使用其之电浆蚀刻装置

摘要

本发明之试料保持具具备:基体,其包含陶瓷且于一主面具有试料保持面;及发热电阻体,其设置于该基体之另一主面且包含玻璃成分;且上述基体系于上述发热电阻体之附近区域包含上述玻璃成分。