发明名称 | 故障检测系统及故障检测方法 | ||
摘要 | 本发明的故障检测系统及故障检测方法加强以设备层次中的过程量为对象的FD/FP功能,故障检测系统包括:数据取得部(1),将过程量作为成为对象的状态量,取得该状态量的时序数据;代表值存储部(2),将状态量变化率的最高值和状态量变化率达到最高值时的状态量进行组合并作为代表值进行存储;变化率算出部(3),基于所述数据取得部取得的状态量的数据来计算出状态量变化率;以及代表值更新部(4),当由所述变化率算出部计算出的最新的状态量变化率的绝对值大于代表值存储部中所存储的状态量变化率的最高值的绝对值时,将代表值存储部中所存储的代表值更新为由变化率算出部计算出的最新的状态量变化率和数据取得部取得的最新的状态量构成的组。 | ||
申请公布号 | CN104037103A | 申请公布日期 | 2014.09.10 |
申请号 | CN201410060813.X | 申请日期 | 2014.02.21 |
申请人 | 阿自倍尔株式会社 | 发明人 | 田中雅人 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 肖华 |
主权项 | 一种故障检测系统,其特征在于,包括:数据取得单元,其将过程量作为成为对象的状态量,取得该状态量的时序数据;代表值存储单元,其将状态量变化率的最高值和状态量变化率达到最高值时的状态量进行组合并作为代表值进行存储;变化率算出单元,其基于由所述数据取得单元取得的状态量的数据来计算出状态量变化率;代表值更新单元,其当由所述变化率算出单元计算出的最新的状态量变化率的绝对值大于所述代表值存储单元中所存储的状态量变化率的最高值的绝对值时,将所述代表值存储单元中所存储的代表值更新为由所述变化率算出单元计算出的最新的状态量变化率和所述数据取得单元取得的最新的状态量所构成的组;和复位单元,其当从外部接收到复位信号时,将所述代表值存储单元中存储的状态量变化率的最高值复位至最小值。 | ||
地址 | 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号东京大楼 |