| 发明名称 |
检测结晶化之设备及方法;APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING CRYSTALLIZATION |
| 摘要 |
一种检测结晶化之设备包含:含有半导体层之基板,半导体层包含彼此分离之复数个结晶之区域;配置以改变基板之位置之座台,基板安装于其上;配置以取得关于半导体层之影像资料之照相单元;配置以取得关于半导体层之检测资料之检测单元;以及配置以根据由照相单元取得之影像资料而输出关于基板之位置变化之变化资料之控制单元。 |
| 申请公布号 |
TW201432832 |
申请公布日期 |
2014.08.16 |
| 申请号 |
TW102125134 |
申请日期 |
2013.07.15 |
| 申请人 |
三星显示器有限公司 |
发明人 |
秋秉权;朴喆镐;孙希根;金度烨 |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01);H01L21/20(2006.01);G01N21/84(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>李国光</name><name>张仲谦</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD. 南韩 |
