流量自动监控装置

摘要

本实用新型公开了一种流量自动监控装置，包括流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置；流量传感器用于感应流量计内浮子的高度；信号放大器用于放大流量传感器信号；电磁阀用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号；信号收集处理单元用于监控流量传感器和电磁阀的信号，在检测到流量异常时，触发互锁报警装置；互锁报警装置包括报警灯和互锁开关电路，用于在收到报警信号后，发出报警声，并停止硅片处理。本实用新型通过在流量计上加装光电传感器，监控流量计内浮子的高度，实现了对流量计流量的自动监控；同时在流量不足时自动报警，强制设备停止硅片处理，有效保障了产品的工艺品质。

主权项

流量自动监控装置，其特征在于，包括流量传感器、信号放大器、信号收集处理单元、电磁阀和互锁报警装置；其中：流量传感器，加装在药液流量计上，用于感应流量计内浮子的高度；信号放大器，与流量传感器连接，用于放大流量传感器输出的信号；电磁阀，连接在涂胶显影设备主机与气动阀之间，并与信号收集处理单元连接，用于为气动阀提供药液吐出信号，并为信号收集处理单元提供流量侦测启动信号；信号收集处理单元，连接在信号放大器与涂胶显影设备主机之间，用于监控流量传感器的信号和电磁阀的信号，并进行计算比对，判定药液流量是否正常，并在检测到流量异常时，触发互锁报警装置；互锁报警装置，安装在涂胶显影设备主机上，包括报警灯和互锁开关电路，报警灯用于发出报警声，互锁开关电路用于在收到流量异常报警信号后，停止硅片处理。