| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Bearbeiten eines Werkstücks (1), insbesondere zum Austrennen von Wafern (100) aus einem Siliziumblock, mit einem drahtförmigen Sägewerkzeug (30) und wenigstens einer Spannungsquelle (32), deren einer Pol mit dem Werkstück (1) und deren anderer Pol mit dem Sägewerkzeug (30) verbindbar ist, und mit einer Einrichtung (20) zum Anordnen des Werkstücks (1) und des Sägewerkzeugs (30) in einem Dielektrikum, insbesondere in einer dielektrischen Flüssigkeit. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, dass das Sägewerkzeug (30) mehrere, parallel zueinander angeordnete Drahtelemente (18) zum gleichzeitigen Bearbeiten des Werkstücks (1) an unterschiedlichen, örtlich voneinander getrennten Bereichen aufweist, und dass die Drahtelemente (18) eine Dicke bzw. einen Durchmesser von weniger als 100µm, vorzugsweise etwa 50µm, aufweisen. |
