流体控制装置

摘要

提供一种流体控制装置，其可自由地进行配管加热构件之安装/拆卸，并可容易地进行将由串联状排列之复数个流体控制机器所构成之一条管线作为单位之追加及变更。流体控制装置系具备：板状之支持构件5，其可拆卸式地安装有复数个通路块22；中空状之金属制安装构件6，其可拆卸式地安装于基座构件且于其上面固定有支持构件5；及配管加热构件7，其嵌入安装构件6内。配管加热构件7系由底壁29及一对侧壁30所构成且以抵接于安装构件6之方式嵌入安装构件6内，且于一对侧壁30间收纳配管24。