发明名称 具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管
摘要 具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管属于分立半导体器件技术领域。现有技术普遍使用Cr作为肖特基势垒二极管的材料势垒,然而,Cr的功函数较低,导致器件I<sub>R</sub>参数能力较弱。虽然Pt的功函数较高,但是价格昂贵。而采用CrNi合金取代Cr所获得的I<sub>R</sub>参数不稳定。本发明之具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管其特征在于,与N型硅半导体材料形成肖特基势垒层的金属材料为CrCu合金,Cu在CrCu合金中的质量百分含量为0.5~0.35%。本发明其技术效果在于,使得肖特基势垒二极管的I<sub>R</sub>的值能够降低30%以上,如从40μA降低到20μA,参数能力得到明显改善。
申请公布号 CN103943687A 申请公布日期 2014.07.23
申请号 CN201410114248.0 申请日期 2014.03.24
申请人 吉林麦吉柯半导体有限公司 发明人 刘彦涛;王斌;黄福成;田振兴
分类号 H01L29/872(2006.01)I;H01L29/47(2006.01)I;C22C27/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/872(2006.01)I
代理机构 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人 陶尊新
主权项 一种具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管,其特征在于,与N型硅半导体材料形成肖特基势垒层(4)的金属材料为CrCu合金,Cu在CrCu合金中的质量百分含量为0.5~0.35%。
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