发明名称 |
具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管 |
摘要 |
具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管属于分立半导体器件技术领域。现有技术普遍使用Cr作为肖特基势垒二极管的材料势垒,然而,Cr的功函数较低,导致器件I<sub>R</sub>参数能力较弱。虽然Pt的功函数较高,但是价格昂贵。而采用CrNi合金取代Cr所获得的I<sub>R</sub>参数不稳定。本发明之具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管其特征在于,与N型硅半导体材料形成肖特基势垒层的金属材料为CrCu合金,Cu在CrCu合金中的质量百分含量为0.5~0.35%。本发明其技术效果在于,使得肖特基势垒二极管的I<sub>R</sub>的值能够降低30%以上,如从40μA降低到20μA,参数能力得到明显改善。 |
申请公布号 |
CN103943687A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410114248.0 |
申请日期 |
2014.03.24 |
申请人 |
吉林麦吉柯半导体有限公司 |
发明人 |
刘彦涛;王斌;黄福成;田振兴 |
分类号 |
H01L29/872(2006.01)I;H01L29/47(2006.01)I;C22C27/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/872(2006.01)I |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 22210 |
代理人 |
陶尊新 |
主权项 |
一种具有CrCu合金势垒的肖特基势垒二极管,其特征在于,与N型硅半导体材料形成肖特基势垒层(4)的金属材料为CrCu合金,Cu在CrCu合金中的质量百分含量为0.5~0.35%。 |
地址 |
132013 吉林省吉林市深圳街99号 |