基板位置偏差调整装置

摘要

一种基板位置偏差调整装置，设置于用于运送基板的机械手上，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整。所述基板位置偏差调整装置设置于所述机械手的下方，且包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部。所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动。根据本实用新型的基板位置偏差调整装置可以对机械手上运送的基板进行有效的整列，即，通过在机械手上加装整列单元，使得每次在进入下一个工序单元之前都能够进行调整，因而能很好地避免基板偏移情况的发生，降低生产产品发生异常的概率，有效提升合格率和降低生产成本。

主权项

一种基板位置偏差调整装置，用于对机械手所运送的基板进行调整，其特征在于，该基板位置偏差调整装置设置于所述机械手上，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整，使得所述基板在进入下一工序之前即完成位置偏差调整，所述基板位置偏差调整装置包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部，所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动，所述旋转气缸和所述导轨气缸整合到所述机械手的控制部中，通过所述纵向部实现所述旋转气缸和所述导轨气缸与所述侧部的电气连接，从而实现控制所述侧部的上下运动和水平运动。