发明名称 一种高品质因子的单端对声表面波谐振器
摘要 本发明涉及一种高品质因子的单端对声表面波谐振器,包括一块压电基片(22)、置于压电基片(22)表面的一个叉指换能器(24),和分布在叉指换能器(24)两侧的第一反射器(23)和第二反射器(25);所述的第一反射器(23)和第二反射器(25)与叉指换能器(24)之间的边缘间距均为0.625λ,λ为声波波长。所述的叉指换能器(24)采用布莱克曼窗函数切指加权结构。所述的叉指换能器(24)、第一反射器(23)和第二反射器(25)均采用铝材料电极,电极占空比为1.3~1.5。所述的叉指换能器(24)、第一反射器(23)和第二反射器(25)的铝电极膜厚为1.1%~1.5%λ。本发明获得单端对SAW谐振器的小体积、高Q值和较小带外波动等特性。
申请公布号 CN103929147A 申请公布日期 2014.07.16
申请号 CN201310012272.9 申请日期 2013.01.11
申请人 中国科学院声学研究所;江苏声立传感技术有限公司 发明人 王文;周寒冰
分类号 H03H9/25(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I 主分类号 H03H9/25(2006.01)I
代理机构 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 代理人 杨小蓉;杨青
主权项 一种高品质因子的单端对声表面波谐振器,所述的单端对声表面波谐振器(21)包括一块压电基片(22)、置于压电基片(22)表面的一个叉指换能器(24),和分布在叉指换能器(24)两侧的第一反射器(23)和第二反射器(25);其特征在于:所述的第一反射器(23)和第二反射器(25)与叉指换能器(24)之间的边缘间距均为0.625λ,λ为声波波长。
地址 100190 北京市海淀区北四环西路21号
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