| 发明名称 | 细间距线栅偏振器 | ||
| 摘要 | 一种多台阶线栅偏振器（120）可以包括基体（121），在该基体上设置有多个平行的多台阶肋（122）。沿着所述台阶的垂直表面（V）设置涂层（C）。 | ||
| 申请公布号 | CN103907173A | 申请公布日期 | 2014.07.02 |
| 申请号 | CN201280042224.8 | 申请日期 | 2012.06.25 |
| 申请人 | 莫克斯泰克公司 | 发明人 | M·A·戴维斯 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 贺月娇;杨晓光 |
| 主权项 | 一种纳米尺寸的多台阶器件，包括：a.基体；b.在所述基体上设置的多个平行的多台阶肋；c.每个肋在其每侧包括多个相邻的台阶，所述多个相邻的台阶包括：i.上部台阶，其顶部水平表面的两侧是上部垂直表面；以及ii.至少一对下部台阶，其在所述上部台阶的对面具有两个水平表面，并且其两侧是下部垂直表面；d.沿着所述上部台阶和所述至少一对下部台阶的垂直表面的涂层；以及e.沿着任何台阶的垂直表面的所述涂层与沿着邻近的台阶的垂直表面的所述涂层分隔。 | ||
| 地址 | 美国犹他州 | ||