一种氧化物替代式图形衬底的制备方法

摘要

本发明提出了一种氧化物替代式图形衬底的制备方法，包括以下步骤：1）在蓝宝石衬底表面生长一层SiO₂薄膜；2）在长有SiO₂薄膜的蓝宝石衬底表面旋涂一层光刻胶；3）通过步进式光刻机对步骤2）中的蓝宝石衬底进行曝光、显影后得到表面有圆柱型光刻胶掩膜的蓝宝石衬底；4）对步骤3）中的蓝宝石衬底进行湿法腐蚀；5）去除光刻胶，采用低浓度的BOE溶液对图形化的SiO₂薄膜进行过腐蚀，利用湿法腐蚀制备出氧化物替代式图形衬底。本发明一种氧化物替代式图形衬底的制备方法，利用外延层在非蓝宝石表面难以单晶生长，通过控制图形衬底的蓝宝石面积，就可以增加外延横向生长，从而减少缺陷，改善外延层的晶体质量。

主权项

一种氧化物替代式图形衬底的制备方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1）在蓝宝石衬底表面生长一层SiO₂薄膜；2）在长有SiO₂薄膜的蓝宝石衬底表面旋涂一层光刻胶；3）通过步进式光刻机对步骤2）中的蓝宝石衬底进行曝光、显影后得到表面有圆柱型光刻胶掩膜的蓝宝石衬底；4）对步骤3）中的蓝宝石衬底进行湿法腐蚀，SiO₂薄膜在圆柱型光刻胶掩膜的保护下被BOE溶液腐蚀出特定的图形阵列，直至露出蓝宝石表面；5）去除光刻胶，采用稀释的BOE溶液对图形化的SiO₂薄膜进行过腐蚀，利用湿法腐蚀制备出氧化物替代式图形衬底。