| 发明名称 | 一种方型晶片对中结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体晶片加工过程中晶片精确定位的设备，具体地说是一种方型晶片对中结构，包括夹紧气缸、X轴夹紧块、Y轴夹紧组件、真空吸盘及支架，真空吸盘安装在支架上，方型晶片放在该真空吸盘上；方型晶片在X轴方向的两侧分别设有连接在夹紧气缸输出端的X轴夹紧块，方型晶片两侧的X轴夹紧块通过夹紧气缸驱动沿X轴夹紧定位方型晶片；方型晶片在Y轴方向的两侧分别设有安装在X轴夹紧块上的Y轴夹紧组件，Y轴夹紧组件包括多个连杆及Y轴夹紧滚轮，Y轴夹紧滚轮通过所述连杆连接于X轴夹紧块上，在X轴夹紧块的带动下沿Y轴夹紧定位方型晶片。本发明具有结构简单可靠、成本低、定位精度高、运动平稳等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103811389A | 申请公布日期 | 2014.05.21 |
| 申请号 | CN201210454644.9 | 申请日期 | 2012.11.13 |
| 申请人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 发明人 | 刘正伟 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 白振宇 |
| 主权项 | 一种方型晶片对中结构，其特征在于：包括夹紧气缸（1）、X轴夹紧块、Y轴夹紧组件、真空吸盘（11）及支架（18），其中真空吸盘（11）安装在支架（18）上，方型晶片（2）放在该真空吸盘（11）上；所述方型晶片（2）在X轴方向的两侧分别设有连接在夹紧气缸（1）输出端的X轴夹紧块，方型晶片（2）两侧的X轴夹紧块通过夹紧气缸（1）驱动沿X轴夹紧定位方型晶片（2）；所述方型晶片（2）在Y轴方向的两侧分别设有安装在X轴夹紧块上的Y轴夹紧组件，所述Y轴夹紧组件包括多个连杆及Y轴夹紧滚轮，其中Y轴夹紧滚轮通过所述连杆连接于X轴夹紧块上，在X轴夹紧块的带动下沿Y轴夹紧定位方型晶片（2）。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 | ||