发明名称 ZrO2-In2O3系光记录媒体保护膜形成用溅镀靶
摘要
申请公布号 TWI437112 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW097134345 申请日期 2008.09.05
申请人 三菱综合材料股份有限公司 日本 发明人 张守斌;三岛昭史
分类号 C23C14/34;C04B35/48;C01G25/00;G11B7/26 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本