新型化合物

摘要

本发明提供适合用于得到能够以低曝光量形成密合性优异的图案的负型感光性树脂组合物的新型化合物。本发明的化合物以下述式（1）表示。式中，R¹和R²分别独立地表示氢原子或有机基团，R¹和R²中的至少一方表示有机基团。对于R¹和R²，它们可以键合而形成环状结构，也可以包含杂原子的键。R³表示单键或有机基团。R⁴～R⁹分别独立地表示氢原子、有机基团等，但是，R⁶和R⁷不为羟基。R¹⁰表示氢原子或有机基团。

主权项

1.一种下述式（1）所示的化合物，式中，R¹和R²分别独立地表示氢原子或有机基团，其中，R¹和R²中的至少一方表示有机基团；对于R¹和R²，它们可以键合而形成环状结构，也可以包含杂原子的键；R³表示单键或有机基团；R⁴和R⁵分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团；R⁶、R⁷、R⁸和R⁹分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团，其中，R⁶和R⁷不为羟基；对于R⁶、R⁷、R⁸和R⁹，它们中的2个以上可以键合而形成环状结构，也可以包含杂原子的键；R¹⁰表示氢原子或有机基团。