介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置

摘要

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置。炉体内的石墨坩埚侧壁外依次安装有炉衬和感应线圈，在石墨坩埚底部安装有水冷拉锭机构，且石墨坩埚和水冷拉锭机构都在炉衬包绕内，石墨坩埚顶部安装有与石墨坩埚内径和外径大小相同的补位石墨环。本实用新型的优点在于：采用该装置可以全液态衔接介质熔炼与初步定向凝固工艺，节省电耗1000～2000度/吨；介质熔炼生产成本降低4000～8000元/吨。铸锭中硼杂质含量小于0.3ppmw；提纯后铸锭纯度在4N以上。金属杂质总含量少于100ppmw。

主权项

一种介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置，炉体内的石墨坩埚侧壁外依次安装有炉衬和感应线圈，其特征在于在石墨坩埚底部安装有水冷拉锭机构，且石墨坩埚和水冷拉锭机构都在炉衬包绕内，石墨坩埚顶部安装有与石墨坩埚内径和外径大小相同的补位石墨环。