发明名称 用于晶片甩干的卡匣
摘要 本实用新型公开了一用于晶片甩干的卡匣。该卡匣包含一静电释放单元,用以释放甩干过程中产生的静电粒子,以减少因甩干过程中产生的静电而造成的晶片电性良率下降问题。
申请公布号 CN203553117U 申请公布日期 2014.04.16
申请号 CN201320613817.7 申请日期 2013.10.08
申请人 安徽三安光电有限公司 发明人 黄照明;张家豪;徐翊翔;徐胜娟;黄钦泽
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 用于晶片甩干的卡匣,具有本体,该本体包括:敞开的底部(270)、两侧壁(230)、卡匣前端(210)、卡匣后端(220);所述两侧壁通过卡匣前端(210)进行连接,之间包含多个用于固定晶片的卡槽(240);所述卡匣后端包含静电释放单元。
地址 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号