发明名称 |
MEMS元件以及振荡器 |
摘要 |
本发明提供MEMS元件以及振荡器,能够使其它振动模式远离1次振动模式、并能够以期望的频率进行振荡。本发明的MEMS元件(100)包含基板(10)、形成在基板(10)上方的第1电极(20)以及第2电极(30),该第2电极具有形成在基板(10)上方的支承部(32)以及从支承部(32)延伸并以在与第1电极(20)之间具有空隙的状态形成且能够在基板(10)的厚度方向上进行振动的梁部(33),梁部(33)的宽度(W)随着从梁部(33)的根部(38)朝梁部(33)的前端(37)而变小,梁部(33)的中心的长度(L1)大于梁部(33)的端部(35a、36a)的长度(L2、L3),梁部(33)的根部(38)的宽度(W0)大于梁部(33)的中心的长度(L1)。 |
申请公布号 |
CN103716004A |
申请公布日期 |
2014.04.09 |
申请号 |
CN201310426060.5 |
申请日期 |
2013.09.18 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
木原龙儿 |
分类号 |
H03H9/02(2006.01)I;H03H9/24(2006.01)I |
主分类号 |
H03H9/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;黄纶伟 |
主权项 |
一种MEMS元件,其包含:基板;第1电极,其形成在所述基板的上方;以及第2电极,其具有支承部和梁部,该支承部形成在所述基板的上方,该梁部从所述支承部延伸,以与所述第1电极之间具有空隙的状态形成,能够在所述基板的厚度方向上进行振动,所述梁部的宽度随着从所述梁部的根部朝所述梁部的前端而变小,所述梁部的中心的长度大于所述梁部的端部的长度,所述梁部的根部的宽度大于所述梁部的中心的长度。 |
地址 |
日本东京都 |